0
Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050
Артикул:
18320
Производитель:
Наличие: Под заказ
Поделиться в социальных сетях
Гарантия
Гарантийный срок от 12 месяцев
Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 представляет собой приставку к вакуумному универсальному посту ВУП-5М (ВУП-5). Приставка предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).
Область применения
Приставка может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.
Приставка относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15180-69.
| Параметры | Значения |
| Диапазон рабочего давления в объеме при работе приставки | от 6,0×10-5 до 8×10-4 мм. рт. ст |
| Электрическое питание приставки | от сети переменного тока напряжением 220 В частотой 50 Гц |
| Потребляемая мощность | не более 600 Вт |
| Масса | 60 кг |
| Внутренний объем высоковакуумного объема приставки | 12 л |
| Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания анода | не более 8 кВ |
| Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания, фокусирующего | не более 8 кВ |
| Напряжение блока питания разряда | не менее 800В |
| Разрядный ток ионных пушек | 50 ± 3 мА |
| Ионный ток на образце | от 30 до 600 мкА |
|
|
Габаритные размеры, мм, не более: |
|
|
рабочий объем |
внутренний диаметр |
230 |
|
модуль источников питания |
длина |
500 |
Эксплуатация
Оптимальными условиями для использования прибора ионно-лучевого травления ИЛТ-050 являются:
- температура окружающей среды от 15 до 25°С
- относительная влажность воздуха не более 80 %
- Срок доставки Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 - от 5 дней.
- Стоимость доставки до терминала транспортной компании - бесплатно.
- Возможна адрессная доставка по Екатеринбургу.
Похожие приборы
